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精密超精密机械加工技术

精密和超精密加工时现代机械加工制造技术的一个重要组成部分，是衡量一个***高科技制造业水平高低的重要指标之一。20世纪60年代以来，随着计算机及信息技术的发展，对制造技术提出了更高的要求，不仅要求获得极高的尺寸、形位精度，而且要求获得极高的表面质量。正是在这样的市场需求下，超精密加工技术得到了迅速的发展，各种工艺、新方法不断涌现。

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超精密加工

尽管随时代的变化，超精密加工技术不断更新，加工精度不断提高，各国之间的研究侧***有所不同，但促进超精密加工发展的因素在本质上是相同的。这些因素可归结如下。

对产品高质量的追求。为使磁片存储密度更高或镜片光学性能更好，机械加工工厂，就必须获得粗糙度更低的表面。为使电子元件的功能正常发挥，就要求加工后的表面不能残留加工变质层。按美国微电子技术协会(SIA)提出的技术要求，下一代计算机硬盘的磁头要求表面粗糙度Ra≤0．2nm，磁盘要求表面划痕深度h≤lnm，表面粗糙度Ra≤0．1nmp。1983年TANIGUCHI对各时期的加工精度进行了总结并对其发展趋势进行了预测，以此为基础，BYRNE描绘了20世纪40年代后加工精度的发展。

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发展现状

随着现代机械加工的快速发展，机械加工技术快速发展，慢慢的涌现出了许多***的机械加工技术方法，比如微型机械加工技术、快速成形技术、精密超精密加工技术等。

随着微/纳米科学与技术（Micro/Nano Science and Technology）的发展，以本身形状尺寸微小或操作尺度为特征的微机械已成为人们认识和改造微观世界的一种高新科技。微机械由于具有能够在狭小空间内进行作业，而又不扰乱工作环境和对象的特点，机械加工厂，在航空航天、精密仪器、生物等领域有着广阔的应用潜力，机械加工厂家，并成为纳米技术研究的重要手段，因而受到高度重视并被列为21世纪关键技术之首。

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